德國OPM WLI白光干涉儀

德國製高品質白光干涉儀

產品特點：

1、針對各種材料產品進行微結構3D表面觀察

2、微小結構Z軸3D PROFILE量測

3、非接觸式的粗糙度量測

4、可測定不同反射率、透明材料之表面結構

5、Z軸解析精度1nm – 0.1nm

6、可依據產品大小，架設於專門設備機構

3D掃描原理

白光干涉White Light Interferometry：

將特定波長光源，透過平、凸面鏡(DI物鏡)

透過物體的兩個反射產生”牛頓環”(亦為干涉條紋)。

其Z軸上下限範圍掃描定義原理

以干涉條紋的產生為焦距判斷值

可裝載搭配不同倍率的干涉物鏡

白光干涉頭部可裝載於不同機構

與機台連線進行各種分析與測定

可搭配原廠電動載物台(選配)

另可選購主動式防震台、氣浮式防震台、防震阻尼平台

可整合於各種自動化機台上，可開放相關SDK進行自動化設備整合

一鍵導出掃描合成後的報表；

3D圖、3D profile(剖面圖)、自動抓取最高、最低之Z軸表面結構高度、Sa面粗糙度(或線粗糙度Ra)