本設備專為 Probe Card(探針卡)檢測、維修及品質管理而設計,可協助檢測人員快速且精準地判別探針卡的各項異常狀況,大幅降低人工判讀誤差,提升檢測一致性與作業效率。透過高精度影像量測與智慧分析功能,可完整檢測探針卡的針徑(Needle Diameter)、針位(Needle Position)、針水平(Coplanarity)、針尖排列及幾何位置等關鍵參數,確保探針卡符合生產品質要求。
本設備專為 Probe Card(探針卡)檢測、維修及品質管理而設計,可協助檢測人員快速且精準地判別探針卡的各項異常狀況,大幅降低人工判讀誤差,提升檢測一致性與作業效率。透過高精度影像量測與智慧分析功能,可完整檢測探針卡的針徑(Needle Diameter)、針位(Needle Position)、針水平(Coplanarity)、針尖排列及幾何位置等關鍵參數,確保探針卡符合生產品質要求。

有別於傳統調針機仰賴 Mylar 對位 的人工調整方式,本系統採用數位化影像定位與標準化量測技術,可直接量測實際針位偏差並提供數據分析,大幅提升調針精度,降低人為操作經驗的依賴,有效縮短調針及維修時間。
設備可建立完整的檢測數據資料庫與標準化作業流程(SOP),將每次檢測結果完整記錄並追溯,協助調針工程師及修卡工程師快速判斷異常原因,制定最佳修正方案,使探針卡維修更加標準化、數據化及可追蹤。
針對不同尺寸、外型及規格的 Probe Card,提供專用客製化治具設計,可快速完成探針卡的定位、固定與水平校正,使工件穩固安裝於量測平台,確保每次檢測皆以相同基準進行。有效提升量測精度、重複性及檢測效率,並降低人工調整時間與操作誤差,讓 Probe Card 的檢測、維修與調針流程更加快速、精準且標準化。

搭載高效能影像演算法,可自動補償 Mapping 掃描過程中的 Shift(位移) 與定位誤差,精準校正各區域影像位置,快速完成高精度縫圖(Image Stitching)。即使面對大尺寸 Probe Card 或多區域掃描,仍能維持優異的拼接精度與影像一致性,為後續量測提供可靠的基準,大幅提升檢測效率與分析品質。
支援匯入 (PRVX) Excel 資料檔,系統可自動比對標準座標與實際量測位置,透過智慧演算法快速完成數據分析,精準計算針位(Pin Position)、**針徑(Pin Diameter)及針水平(Coplanarity)**等重要量測參數。有效減少人工計算與資料輸入時間,提升檢測效率、量測一致性及品質追溯能力,協助工程師快速完成探針卡檢測、調針及維修作業。

智慧偏差分析,精準引導調針作業
透過軟體智慧演算法分析,比對標準針位與實際量測針位,自動計算各探針的偏移量(Offset),並以數據化方式呈現調整方向與偏差數值,協助工程師快速完成調針作業,大幅提升調整精度、降低重工率,並有效縮短 Probe Card 維修時間。



設備導入人體工學設計,可依操作人員的身高、坐姿及使用習慣調整觀察高度與角度,使調針及修卡過程保持自然、舒適的操作姿勢。有效減輕長時間工作所造成的頸部、肩部、腰部與眼睛疲勞,提升操作專注度與作業舒適性,協助工程師維持穩定的調整精度與工作效率。

調針的過程,為求視覺上的穩定性,調針人員可持續於顯微鏡上觀察,手持移動切換到下一針位調針
無須離開目鏡到螢幕觀察。

系統提供完整且彈性的檢測報表功能,可依客戶需求自由設定導出項目與量測數據,自動產生標準化檢測報告。除完整記錄各項量測結果外,亦可同步匯出每支探針的檢測影像,讓量測數據與實際影像一一對應,方便後續判讀、品質追溯及維修分析。
設備支援多種報表輸出格式,可依不同應用需求建立專屬報表模板,包含 PRVX 報表模式,滿足 Probe Card 檢測、維修、品質驗證及客戶報告等多元應用。透過標準化、自動化的報表管理,不僅大幅減少人工整理資料時間,更提升檢測效率、資料完整性及品質管理能力。
| 機構 | 花崗石基座及Z軸立柱 |
| 光學尺解析度 | XYZ三軸光學尺0.1um |
| 運動控制 | XYZ採用伺服馬達 |
| XY移動行程 | 400*300mm |
| 量測範圍 | 針卡被動元件<50mm、針位範圍200*200mm (OPTION:300*300mm)
(可依尺寸更新) |
| 量測精度 | 機台重複性±1um、機台合圖精度mapping ±2um |
| 光學系統 | 雙鏡頭-mapping鏡頭倍率:200X/400X
調針鏡頭倍率:目鏡25X、Zoom 0.8-6X,總倍率20X-150X |
| 分辨率 | 2048*2048 |
| 晶片尺寸 | 1” Global shutter |
| 人體工學距離 | 物鏡至量測物工作距離90mm
桌子底部至顯微鏡目鏡距離:56cm (目鏡仰角不低於水平) |