全自動晶圓量測白光干涉

全自動晶圓白光干涉量測

可設定量測點位全自動量測

微小結構高度量測、平面度量測、粗糙度量測、膜厚量測

量測後導出報表上傳

可依照晶舟盒種類規劃LOADER

正背檢、鏡檢皆可

歡迎來電洽詢規劃