全自動晶圓量測白光干涉

全自動白光干涉量測系統

可量測8吋、12吋晶圓

另可規劃LOADER

FOSB、FOUP皆可應用

 

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全自動晶圓白光干涉量測

可設定量測點位全自動量測

微小結構高度量測、平面度量測、粗糙度量測、膜厚量測

量測後導出報表上傳

可依照晶舟盒種類規劃LOADER

正背檢、鏡檢皆可

歡迎來電洽詢規劃

 

 

全自動晶圓量測白光干涉 詢價