產品分類： 白光干涉儀

WLI白光干涉儀模組

可擴充於金相或是工具顯微鏡 載物台與防震台可選配 單一鏡頭單配即可量測出形狀3D輪廓 相當經濟實惠的選擇

WLI白光干涉儀

德國製高品質白光干涉儀

共軛焦顯微鏡+白光干涉（二合一）

德國工業技術的產品 OPM白光干涉+共軛焦(二合一機器)源自德國

全自動晶圓量測白光干涉

全自動白光干涉量測系統 可量測8吋、12吋晶圓 另可規劃LOADER FOSB、FOUP皆可應用