WLI白光干涉儀模組
![](https://www.jys-ims.com.tw/wp-content/uploads/2020/06/WLI43-1024x768.jpg)
可擴充於金相或是工具顯微鏡 載物台與防震台可選配 單一鏡頭單配即可量測出形狀3D輪廓 相當經濟實惠的選擇
WLI白光干涉儀
![](https://www.jys-ims.com.tw/wp-content/uploads/2021/04/p5_02.jpg)
德國製高品質白光干涉儀
共軛焦顯微鏡+白光干涉(二合一)
![](https://www.jys-ims.com.tw/wp-content/uploads/2021/04/p5_01.jpg)
德國工業技術的產品 OPM白光干涉+共軛焦(二合一機器)源自德國
全自動晶圓量測白光干涉
![](https://www.jys-ims.com.tw/wp-content/uploads/2022/02/AUTO43-1024x768.jpg)
全自動白光干涉量測系統 可量測8吋、12吋晶圓 另可規劃LOADER FOSB、FOUP皆可應用
可擴充於金相或是工具顯微鏡 載物台與防震台可選配 單一鏡頭單配即可量測出形狀3D輪廓 相當經濟實惠的選擇
德國製高品質白光干涉儀
德國工業技術的產品 OPM白光干涉+共軛焦(二合一機器)源自德國
全自動白光干涉量測系統 可量測8吋、12吋晶圓 另可規劃LOADER FOSB、FOUP皆可應用