顯微鏡改裝白光干涉模組
可擴充於金相或是工具顯微鏡 載物台與防震台可選配 單一鏡頭單配即可量測出形狀3D輪廓 相當經濟實惠的選擇
德國OPM WLI白光干涉儀
德國製OPM白光干涉儀 適用於微奈米結構的表面非接觸式量測，尤其是透明的表面材料 膜厚段差(2D/3D)，X, […]
德國OPM 共軛焦+白光干涉
德國OPM白光干涉+共軛焦(二合一機器) 微觀表面非接觸式量測光學輪廓儀 最多可裝載6個鏡頭，可安裝任何表面瑕 […]
全自動晶圓量測白光干涉
全自動白光干涉量測系統 可量測8吋、12吋晶圓 另可規劃LOADER FOSB、FOUP皆可應用